产业设备市场中，80%份额为晶圆处理设备，在此环节中，清洗步骤约占整体步骤的33%，清理洗涤设施对生产线的良率和经济的效果与利益均起着至关重要的的影响。

　　作为国产半导体清理洗涤设施“三剑客”之一，至纯科技受到了投资机构的关注，日前迎来了浙商证券、海富通基金、申万宏源、光大证券等一众投资机构调查与研究，谈及其半导体清理洗涤设施领域布局。

　　至纯科技成立于2000年，致力于为高端先进制造业公司可以提供高纯工艺系统的解决方案，2018年上半年其半导体行业收入占比为69.4%，客户包括上海华力、中芯国际、长江存储、合肥长鑫、士兰微等企业。

　　相较于盛美半导体和北方华创，至纯科技涉足半导体清理洗涤设施领域的时间不算长，据悉其于2015年开始启动湿法工艺装备研发，2017年底成立独立的半导体湿法事业部。

　　据至纯科技在调研活动中透露，其湿法事业部目前共有员工近40人，未来团队规模有望达到300~400人。其中，槽式清理洗涤设施主要引进日本团队近20人，团队人员均有国际大厂相关经验；单片式清理洗涤设施则与海力士专属供应商——韩国公司MUJIN合作，双方均贡献技术、共享IP。

　　至纯科技表示，目前槽式清理洗涤设施是在日本制造，将来会放在启东新厂。据悉，至纯科技启东新厂占地100亩、规划两期，产能贡献主要在系统集成和湿法制造，乐观估计10月份部分交付使用，明年下半年产能有望开始释放，但达产仍需过程。

　　启东基地产能释放后，至纯科技预计高纯系统集成方面的产能将是目前的4~5倍，清理洗涤设施一期设计产能则为年产48台。根据至纯科技2017年年报提出的目标，未来5年内实现清理洗涤设施累计销售200台。

　　值得一提的是，目前至纯科技湿法槽式清理洗涤设施已获得6台的量产订单，客户是中芯国际和万国半导体，9月下旬交付两台，乐观估计今年第四季度或明年第一季度确认收入。依据自己产能及产业链调研情况，至纯科技认为其2019年清理洗涤设施新增订单规模将在20台水平。

　　至纯科技表示，公司在半导体清理洗涤设施领域的目标很明确——就是做进口替代，对标的是国际半导体设备巨头Lam Research和DNS，计划从零配件到整机，从高端产品到全产品覆盖，逐步实现国产化。

　　数据显示，2017年全球半导体清理洗涤设施市场规模为27亿美元，随着工艺节点的升级以及良率要求提高，清理洗涤设施用量需求将持续增加，预计2020年将达到35-40亿美元，其中中国市场有望突破600亿元人民币。

　　据悉，清理洗涤设施在晶圆制造设备中的采购费用占比约为5%。至纯科技指出，从清理洗涤设施的配备量来看，以4万片产能的产线寸线寸线台设备左右，包括槽式和单片，国外有的厂商能达到120台清理洗涤设施水平。

　　价格方面，市面上最便宜的单片清理洗涤设施是两个腔体的50-60万美元，6-8个腔体的单片式清理洗涤设施的价值大概300-400万美元，槽式价格100-200万美元市场行情报价，一个Fad厂在清理洗涤设施上采购费用需要约2亿美元。

　　纵观全球清理洗涤设施市场，日系企业占据主导地位，DNS、Tokyo Electron分别占据约60%、30%市场占有率，剩下的则由美国Lam Research、韩国SEMES等企业瓜分，中国企业与国际水平仍有较大差距。

　　至纯科技表示，目前国外单片式清理洗涤设施已发展到12个、16个腔体了，腔体越多、对应的附属设备的介质供应也越多，可需要满足智能化、软件控制、压力均等和清洗后的存放等需求。而国产清理洗涤设施，以种类众多的湿法清理洗涤设施为例，从种类和功能上国产设备目前实现只有其中的10%。

　　国内的清理洗涤设施企业除了至纯科技外，主要厂商还有盛美半导体和北方华创，这“三剑客”正在通过各自的方式发展壮大。

　　盛美半导体成立于1998年，一直主攻单片式清理洗涤设施，拥有独创的兆声波清洗（SAPS）技术、通电气泡震荡兆声波清洗（TEBO）技术，是国内唯一进入14nm产线验证的清理洗涤设施厂商，在技术上已具备与国际公司竞争的实力。

　　在产品上，盛美半导体集中在基于SAPS和TEBO技术的单片清理洗涤设施，近三年营收占比均超过70%；客户方面，盛美半导体与海力士有着长期合作伙伴关系，并已进入长江存储、中芯国际、华力微电子、长电科技等企业生产线。

　　尽管盛美半导体在国内清理洗涤设施产业处于领头羊，但与国际巨头相比，其在规模、产品系列数、利润和研发投入绝对值上尚不在一个量级。

　　另观北方华创，与盛美半导体长期通过自主创新主攻单片清理洗涤设施不同，北方华创作为国内拥有最丰富产品线的半导体设备企业，其清理洗涤设施产品覆盖了单片和槽式。

　　2017年8月，北方华创以1500万美元收购了美国半导体清理洗涤设施企业Akrion，该交易已于今年1月宣布正式完成交割。Akrion在清理洗涤设施方面拥有多年的技术积累和客户基础，进一步丰富了北方华创的产品线。

　　截至目前，北方华创在清理洗涤设施领域，已形成涵盖应用于集成电路、先辈封装、功率器件、微机电系统与半导体照明等半导体领域的8-12英寸批式和单片清洗机产品。

　　盛美半导体走自主创新之路，北方华创结合创新与吸收、收购，至纯科技则基于自身优势与国际厂商合作，三者均已取得一定成绩，但总体而言，国内清理洗涤设施国产化仍有很长的路要走。

　　不过，随着半导体产业明显向中国转移，国产清理洗涤设施企业将迎来良好的机遇。至纯科技在调研中提及，其与下游客户的沟通结果来看，2018-2019是建厂高峰期，2019-2021是设备的高峰期，整体行业正进入清洁设备采购期。

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