我们预计公司2021/2022/2023年营收分别为18.28亿元/22.96亿元/27.57亿元，归母净利润分别为2.83亿元/3.64亿元/4.32亿元，对应当前股价的PE分别为41x/32x/27x。公司通过高纯工艺系统起家，与半导体一线用户建立了良好合作伙伴关系，湿法清理洗涤设施和系统集成业务有望实现协同发展。未来随着清理洗涤设施收入占比不断的提高，公司估值有望重构。在我国半导体产业面临外部打压背景下，国产替代是行业发展的新趋势，我们看好公司湿法设备的成长性，未来六个月内维持“增持”评级。

  高纯工艺系统大范围的应用于集成电路、显示屏、光伏、生物制药及餐饮等领域，下游应用领域良好发展势头有利于驱动高纯工艺系统的需求量开始上涨。公司具备拥有涵盖气体、化学品等高纯工艺设备及系统的丰富产品线，拓展了研磨液系统、前驱体介质系统、大宗气体系统等有关技术研发，加大了对工艺减排、产品服务化的布局。公司在高纯工艺系统领域属于具有承接大型项目的实力与经验的本土企业，产品已切入中芯国际、士兰微、长江存储、台积电、海力士等知名厂商。

  2020年中国大陆成为全世界最大半导体设备市场，销售额达到187亿美元，占全球26.3%。随着全球“缺芯”蔓延，半导体企业纷纷扩产，未来对设备需求有望保持增长态势。公司湿法设备能提供到28nm节点的全部湿法工艺，14nm及7nm工艺预计2022年可供客户验证。客户包括中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、台湾力晶等行业领先者。2020年湿法设备出货量超过30台，新增订单5.3亿元，增长211.8%。

  2019年公司通过并购从事光纤传感及光电子元器件业务的波汇科技来扩大业务边际领域。公司正在扩建光电子材料及器件产能，丰富产品结构的同时拓展下游应用领域至5G、数据中心、工业、医疗等高新行业，有利于培育新的业绩增长点。此外，公司通过在高纯工艺系统及工艺制程设备中运用波汇科技的光传感技术，可逐步提升公司的市场之间的竞争地位，通过发挥业务协同效应，提升产品价值和市场空间。

  风险提示：（1）行业竞争加剧，新增订单没有到达预期；（2）新产品拓展没有到达预期；（3）下游需求没有到达预期。